激光器已被广泛应用(yòng)于工业，例如在高性价比的制造系统中用(yòng)作可(kě)靠的能(néng)源，进行标记、钻孔、淬火和表面处理(lǐ)。目前的工业发展要求将设备的形體(tǐ)尺寸降低达到亚微米甚至纳米级。作為(wèi)一种无掩膜和非接触工艺，激光纳米加工具有(yǒu)设置灵活以及能(néng)够在空气、真空或液體(tǐ)环境中操作的独特优点，因此成為(wèi)更广泛应用(yòng)的一种最具吸引力的加工或制造工具。
目前已经开发一些新(xīn)技术来加工功能(néng)性纳米结构。工业应用(yòng)的关键问题是在大规模生产中如何在短时间内产生大面积的纳米结构。本文(wén)介绍了潜在大规模生产的一些多(duō)功能(néng)激光纳米加工方法，另外还简要讨论了满足亚20 nm分(fēn)辨率的激光纳米加工进一步发展的前景。
微球體(tǐ)阵列辅助激光纳米加工
激光纳米加工的关键挑战是如何将空气中的紫外線(xiàn)或可(kě)见激光光束聚焦到亚100nm，从而克服光學(xué)衍射限制。我们的研究显示，自排列或大面积旋转涂抹形成的透明微球體(tǐ)阵列能(néng)够将入射激光光束分(fēn)离為(wèi)成千上百万的微小(xiǎo)光束，还能(néng)用(yòng)作透镜，聚焦这些微小(xiǎo)光束以开展表面纳米制图。
